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HO-LWS-PUV 用于光刻的紫外激光写入系统
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HO-LWS-PUV 用于光刻的紫外激光写入系统

产品报价:询价

更新时间:2020/4/2 16:47:37

地:美国

牌:holmarc

号:HO-LWS-PUV

厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,

公司名称: 世联博研(北京)科技有限公司

产品关键词: 紫外激光写入系统   HO-LWS-PUV   用于光刻的紫外激光写入系统  

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王荣 : (18618101725) (18618101725)

(联系我时,请说明是在大发3d上看到的,谢谢!)


Holmarc设计了具有高精度组件的多功能4“基板UV激光写入器,专门设计用于为用户提供最大的自由度,使其可以在光敏层中创建微结构。

系统支持高达4096级的灰度等级,支持3D光学结构,表面结构以及蒙版项目,使该系统成为用于研发的理想Litho工具。

    激光    GaN激光二极管
    波长    405纳米
    空间过滤单元    基于物镜
    光斑尺寸    1微米(取决于物镜)
    强度    现场软件控制的最大3 mW
    光功率反馈单元    是
    焦点控制    软件可控
    灯光控制    4096级
    XY扫描台行程    100毫米
    解析度    1微米
    Z轴行程    20毫米
    解析度    1微米