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可变角度激光椭偏仪HO-VALE-01
可变角度激光椭偏仪HO-VALE-01
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可变角度激光椭偏仪HO-VALE-01

产品报价:询价

更新时间:2020/4/2 16:47:37

地:其他国家

牌:holmarc

号:HO-VALE-01

厂商性质: 生产型,贸易型,服务型,

公司名称: 世联博研(北京)科技有限公司

产品关键词: 椭偏仪大发3d   椭偏仪价格   HO-VALE-01   激光椭偏仪   可变角度激光椭偏仪  

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王荣 : (18618101725) (18618101725)

(联系我时,请说明是在大发3d上看到的,谢谢!)


椭偏仪是一种非常灵敏的光学大发3d,可为薄膜计量提供无与伦比的功能。椭偏仪利用光的相位信息和偏振态,因此可以实现埃级分辨率。椭偏仪的主要优点是无损检测,灵敏度高和测量范围广。可以通过这种大发3d精确地确定薄膜的光学参数,例如厚度和折射率。

在椭圆仪型号:HO-ED-P-06中,使圆偏振光入射到测试基板上,并分析线偏振的反射光的偏振变化。

该仪器包括两个同心旋转的臂,这些臂围绕着固定在较重底座上的精确刻度盘围绕。激光源固定在一个臂上,检测器组件固定在另一臂上。通过游标卡尺,刻度盘的刻度为1°,分辨率为0.1°。激光源和检测器的电源分开放置。偏振器,检偏器和四分之一波片被固定在光路中的精密旋转台中,刻度范围为0-360°,分辨率为0.1°。格兰-汤普森棱镜用于偏光镜和检偏镜。


 

将样品放置在高精度千分尺驱动的垂直载物台上,高度调整范围为10 mm,分辨率为0.01 mm。激光源的入射角可在30°至90°之间调节。对于零点方法,如果需要,可以用微型屏幕代替检测器,以便目测确定零点。

如图所示,随机偏振的激光(532nm)通过偏振器,该偏振器将光的偏振从随机偏振改变为线性偏振。然后,线性偏振光穿过四分之一波片(将快轴设置为45度),该偏振片将偏振状态从线性更改为圆形。从样品薄膜反射后,圆偏振光变为线性偏振,分析仪测量偏振度。

 

大发3d指标


测量范围:1 nm?300 nm

入射角:30°?90°,误差≤0.1°


旋转范围

偏光镜:0°?360°

四分之一波:0°?360°

分辨率:0.1度

激光:DPSS(532nm,5mW)


激光臂

旋转范围:70度(从水平面开始)

主要规模:1度

分辨率:0.1度

 

探测器

类型:硅光电二极管

有效面积:5.8 x 5.8毫米


探测器臂

旋转范围:70度(从水平面开始)

主要规模:1度

分辨率:0.1度


样品架

高度调节范围:10毫米

驱动器分辨率:10微米

倾斜范围:+/- 2度