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高性能中档行程线性平移台ILS 系列
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高性能中档行程线性平移台ILS 系列

产品报价:询价

更新时间:2019/11/6 18:02:19

地:美国

牌:Newport

号: ILS 系列

厂商性质: 生产型,贸易型,

公司名称: 森泉(上海)光电科技有限公司

产品关键词: 高性能中档行程线性平移台   线性位移台   位移台  

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黄少华 : (15221178962) (021-61553010)

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循环滚珠轴承滑块 借助精确的线性轨迹,循环滚珠轴承滑轨可提供优异的有效载荷和更长的使用寿命。它可以缓解滚珠轴承罩移位的问题,该问题通常出现在线性滚珠轴承或交叉滚子轴承上。

 

FEM - 优化的铝制机身 优化的铝制机身可实现极高的刚性,以及在不影响重量的情况下最小化双金属弯曲。坚固的机身减少了负载下的偏移。

 

集成编码器 4000 pts/rev 的编码器直接安装在螺杆上,这样可防止出现螺杆/电机耦合误差,从而提高平移台运动精度。HA 版本具有 0.3 μm MIM 的集成线性标度。

 

大发3d参数:
行程范围 150 mm

最大速度 100 mm/s

最小位移增量 1000 nm

中心负载 250 N

轴向负载 (+Cx) 40 N

逆轴向负载 (-Cx) -40 N

精度,典型值 ±1.5 μm

精度,保证值 ±2.5 μm

单向重复精度,典型值 ±0.25 μm

单向重复精度,保证值 ±0.5 μm

双向重复精度,典型值 ±0.45 μm

双向重复精度,保证值 ±1.0 μm

俯仰,典型值 ±37 μrad

俯仰,保证值 ±75 μrad

俯仰顺应性 10 μrad/Nm  

偏摆,典型值 ±20 μrad

偏摆,保证值 ±65 μrad

偏摆顺应性 10 μrad/Nm  

滚转顺应性 15 μrad/Nm  

驱动方式 DC Motor

反馈 Rotary Encoder


森泉(上海)光电科技有限公司

| 第2

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联系人:黄少华

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